EZ6匀胶机
    发布时间: 2017-11-06 20:48    


    EasyCoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,4.3寸全彩触屏人机界面操作,简单易用。EZ6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
     EZ6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。

     该款产品已在老款型号上进行了升级,外型进行了变化,最大转速及加速度得到了提高,真空腔进一步改善从而不易堵胶。


产品性能参数:

  •   支持wafer尺寸:1cm-150mm(6"圆晶)

  •   速度可调范围:100-12000rpm

  •   加速度可调范围:100-30000rpm/s

  •   最大单步旋涂时间:3000s

  •   时间分辨率:0.1s

  •   转速分辨率:1rpm

  •   可编程10组10步程序

  •   宽电压输入:AC100-230V,中英文界面可选


产品特性优点:

  •     100W 直流无刷电机,单片机控制

  •      4.3”全彩触摸屏,简单易用

  •   系统中英文界面可转换

  •   带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

  •      HDPE 内腔,SUS 外壳,耐溶剂PC 透明盖

  •   真空互锁及盖子开关互锁安全功能

  •   防堵胶功能设计(双真空腔设计)


产品外型尺寸:

  358mm(D)*256mm(W)*258mm(H)


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