MS6-CA手动光刻机

2024-02-04 14:18:18

（MS6-CA手动光刻机）产品参数

●曝光面积：160mm*160mm

●曝光分辨率：接触式曝光0.8μm-1μm

●对准精度：±1-1.5μm

●光源强度：35mW/cm²

●UV光源：进口LED模块

●曝光中心波长：365nm

●光源寿命：1万小时，光源平行性：≤2°

●曝光分辨率：接触式曝光0.8μm-1μm

●照度不均匀性：≤3%

●曝光设定：定时

●可执行曝光模式：真空接触、硬接触、压力接触、接近式

●间隙设定方式：数字设定曝光间隙0-1200μm

●可调，可自动分离和消除间隙

●样片、掩模版相对移动范围：X:±5mm，Y:±5mm，θ=±6°

●掩模版找平方式：球气浮自动找平

●可支持掩模版尺寸：3"×3"、4"×4"、5"×5"、7"×7"各一件

●标配承片台：2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

●标准配件可兼容样片厚度：0.1-5mm,其他尺寸可定制

●对准系统：光学+CCD，显微倍数：放大倍率：150倍-720倍可调

●双物镜可调距离范围：30mm-120mm