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AC200-S-PP伺服匀胶机

产品性能介绍:


◆ 采用PP外壳设计,耐腐蚀易清洁

◆ 采用伺服电机驱动

◆ 内腔采用下抽风和套盘式真空吸盘

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产品参数说明:


● 内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE)

● 旋涂程序:最多可存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

● 转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)

● 旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

● 马达旋涂转速稳定性能误差:< ±1rpm(AC200-SE); <±0.1rpm(AC200-PE)

● 转速调节精度及重复性:1rpm(AC200-SE);   0.1rpm(AC200-PE)

● AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能

● 工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec

● 支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圆晶)

● 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)


产品外型尺寸:

● 480mm(D) * 360mm(W) * 350mm(H)

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