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AC300-SE大功率程控伺服匀胶机

产品性能介绍:


◆ 最新的内部紧凑设计,缩小设备尺寸

◆ 7"触屏控制面板操作系统

◆ Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺

◆ 标准配置转速5000rpm,并可根据用户需要进行定制

◆ 采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部

◆ 机身选用耐腐蚀不锈钢,内腔采用HDPE材料

◆ 排风和抽气系统位计于载片台之底部,以利于排风效率和匀胶均一性

◆ 透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发

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产品参数说明:


● 旋涂程序:最多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒

● 转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

● 旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

● 马达旋涂转速稳定性能误差: < ±1rpm

● 转速调节精度和重复性: 1rpm

● 工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec

● 支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶)

● 旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(去除边缘3毫米区域测量)

产品外型尺寸:613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)


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