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EZ4匀胶机

产品性能介绍:


◆ 结构紧凑、简单易用,可多步操作,性能稳定

◆ 从手套箱过渡舱内方便进出,最大推荐可旋涂4寸圆形底物

◆ 文本显示屏,清晰的功能按键,中英文界面可选择

◆ 程控操作,可提供单步或多步程序旋涂运行,最多可运行5步不同转速及加速度的旋涂程序

◆ 性能稳定,工业级直流马达,单片机控制,转轴旋转稳定,重复性好,精度高

◆ 设计新颖,不易进胶堵胶设计,旋涂内腔易拆卸清理更换

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产品参数说明:


● 耐腐蚀、易清洁注塑内腔,HDPE材料真空吸盘

● 耐溶剂性PC材料透明盖,恒定扭矩定位功能

● 75W直流无刷电机,单片机控制

● 可处理碎片(小于1cm)至4英寸圆晶底物

● 转速可控范围:100-9999rpm,转速分辨率:1rpm

● 加速度可控范围:100-9999rpm/s

● 最大单步步长:3000s,时间分辨率:1s

● 可进行多步程序运行,最多可编辑5组5步程序

● 宽输入电压适用:AC100-230V输入

产品外型尺寸:210 (W) * 265 (D) * 213 (H)


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