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EZ6匀胶机

产品性能介绍:


◆ 尺寸较小,结构紧凑,适合直接放于手套箱内操作,最大可旋涂6寸圆形底物

◆ 彩色触屏控制,界面简单易用,且自带帮助功能,提供使用向导,对初次使用者非常方便

◆ 提供多步编程旋涂工艺运行,最多可存贮10组10步程序,还可升级自动点胶功能

◆ 工业级直流马达,转轴旋转稳定,重复性好

◆ 独特真空系统设计,可靠性高


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产品参数:


● HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔,带排废功能

● SUS耐腐蚀不锈钢机身,耐溶剂性PC透明盖子

● 4.3寸全彩触屏人机界面,提供触屏笔操作

● 100W直流无刷电机,单片机控制

● 内腔直径200mm,可处理碎片(小于1cm)至6英寸圆晶底物

● 转速可控范围:100-12000rpm,转速分辨率:1rpm

● 加速度可控范围:100-30000rpm/s

● 可进行多步程序运行,最多可存贮10组10步程序

● 带一只自动点胶端口,可升级自动点胶功能

● 宽输入电压适用:AC100-230V输入

● 带真空和盖子开关互锁功能,确保操作安全

● 可选择设置开机密码功能,提高设备操作安全性

产品外型尺寸:270(W)*387(D)*258(H)


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